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  • 主营业务:不锈钢蚀刻标牌、金属蚀刻加工、不锈钢直尺、铝铭牌、不锈钢铭牌
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广州市茂美标牌加工厂,座落于番禺区桥南街陈涌工业区,专注于腐蚀面板加工,腐蚀面板定制,不锈钢面板加工,铝面板加工,机械控制面板定做,不锈钢蚀刻面板加工,机械面板腐蚀定制,设备蚀刻面板加工,腐蚀机械面板定制,机箱设备面板定制、电子秤按键面板定做等,接单领域主要集中在广州、深圳 、佛山 、东莞、中山、珠海、江门、肇庆、惠州等地,均可加工定制生产。

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为什么要浸渗:自从1950年以来,浸渗就作为一种处里气孔的方法而被广泛使用,在微孔密封技术领域,相对于5mm铸件壁厚,我们将直径在0.254mm 以下的孔称之为微孔。这些孔通常用肉眼是难以发现的。在汽车动力系统及气动液压系统铸件中,微孔的存在将导致被密封介质的浸漏,增加机加工刀具的磨损,同时带来生产成本的增加,使产品的质量难以得到保证。将在产品的使用过程中,令其丧失应有的功能。当前国内外许多厂家将浸渗技术被确认为一项必不可少的工序。

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本实用新型涉及干法刻蚀技术,特别涉及一种干法刻蚀设备。

技术背景 图I为现有干法刻蚀设备的结构示意图,如图I所示,干法刻蚀设备包括反应腔(Chamber) 5,设置于反应腔(Chamber) 5上的垫板4、以及设置于反应腔(Chamber) 5中的挡光板I。现有的干法刻蚀设备在对玻璃(Glass)基板进行刻蚀的工艺中,由于设备的上部电极结构复杂以及设备老化等原因,经常会出现垫板4断裂以及其他零部件损坏而导致反应腔(Chamber) 5真空泄露(Leak)的现象,由此,大气会进入反应腔(Chamber) 5内部,大气中的氮气等与反应腔(Chamber) 5内的气体混合,混合后气体颜色会由蓝色变成红色或黄色,出现颜色异常。现有结构无法对等离子体(Plasma)颜色进行监控,导致在后工序才能发现,这会严重影响良品率。

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在集成电路制造工艺中,刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅表面去除不需要的材料,机械面板腐蚀加工价格,在硅片上***所需图形的***后图形转移的工艺步骤。干法蚀刻和湿法蚀刻是半导体制造中两种基本的刻蚀工艺。干法蚀刻各向异性可以实现细微图形的转换,满足越来越小的尺寸要求,已成为亚微米及以下尺寸***主要的蚀刻方式。在实际生产中,公司追求产能和良率。就二氧化硅的干法蚀刻而言,需要优化诸如蚀刻速率、均匀性、选择比等蚀刻参数。因在蚀刻过程中,刻蚀的理想条件经常漂移,工艺工程师不仅需设定优化蚀刻效果的蚀刻菜单,还需在理想条件漂移时及时做出调整。本文选取了影响蚀刻效果的主要工艺参数,如射频、压力、蚀刻气体等做正交试验,确定其具体的影响程度,为参数设置和调节提供依据。


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顶喷式减薄工艺原理和流程工艺原理

设备采用顶部喷洒方式进行蚀刻减薄LCD面板/玻璃基板。通过专用喷头等喷淋装置,以近似于雾状的喷淋方式,将蚀刻药液均匀的喷洒在蚀刻产品表面。工作过程中被蚀刻的玻璃基板等产品通过特定的匣具(Cassette)垂直固定,通过喷淋装置从顶部喷洒,并且在蚀刻产品的表面形成瀑布状蚀刻流,通过智能自动化PLC电气控制系统,以及在线监控和过滤等辅助系统装置,实现类同于双面瀑布流蚀刻的自动化减薄。同时通过形成的瀑布蚀刻流冲刷带走蚀刻后的反应物,避免反应物在蚀刻产品表面的沉积和粘附,有效提高蚀刻减薄效率和减薄产品的良率。

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Plasma在干蚀刻中的应用在高周波电场中电子被来回加速,加速后的电子轰击气体分子或原子,使分子或粒子解离出新的电子(α作用) 而产生Ion,或者使分子解离为高活性的自由基。高活性的自由基会和玻璃基板表面所镀的薄膜物质进行反应。

因此Plasma被用在半导体,LCD行业中Etching的工艺中,多用在硅和硅的化合物(SiNx、SiOx 等)的蚀刻工艺,随着设备的改进,也可用于金属铝的蚀刻。

Plasma蚀刻设备昂贵,但生产过程中耗费的Material非常少, Plasma蚀刻的优点在于:蚀刻的精ds确度很好,速度快,蚀刻均一性好,化学品消耗低(较酸液蚀刻)。


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